真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發(fā),電子槍加熱蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
ZKJ B真空鍍膜機(jī)采用箱式結(jié)構(gòu),抽氣系統(tǒng)后臵,便于拆卸和維修。整機(jī)表面平整,便于清潔,適合凈化間安裝。蒸發(fā)室全部采用不銹鋼制造,外有可通冷、熱水的護(hù)罩,可對(duì)壁進(jìn)行加熱(熱水器選配)或冷卻。真空鍍膜機(jī)閥門(mén)采用氣動(dòng),操作方便,使用可靠。液氮冷阱和水冷擋板設(shè)計(jì)為一整體。蒸發(fā)室抽氣口也設(shè)臵一光學(xué)密封機(jī)械擋板,因此可使蒸發(fā)室的油污染降低到極低的程度。
注意事項(xiàng):
1.泵本身要保持清潔干燥,泵內(nèi)的油具有密封和潤(rùn)滑作用,因此要按照規(guī)定量添加。
2.機(jī)械泵停止工作前要先關(guān)閉進(jìn)氣閥門(mén),再停電并開(kāi)放氣閥,將大氣通過(guò)進(jìn)氣口放入泵中。
3.要不定期檢點(diǎn)機(jī)械泵的皮帶松緊度、電機(jī)的轉(zhuǎn)速,羅茨泵電機(jī)的轉(zhuǎn)速,和密封圈的密封效果。
4.機(jī)械泵要安裝在清潔干燥的地方。
5.泵在工作期間,油溫不可以超過(guò)75攝氏度,否則會(huì)由于油的黏度過(guò)小而導(dǎo)致密封不嚴(yán)。